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当前主流的SCR脱硝清灰工艺为声波清灰器、蒸汽吹灰器和声波+蒸汽吹灰器三种。目前中小型锅炉以声波清灰器清灰工艺为主，200MW以上机组大部分声波+蒸汽吹灰器，一些特殊性的行业，比如玻璃炉窑烟气中的灰粘性较大的，只采用蒸汽吹灰器。
下面就这三种工艺的的优缺点分析如下表：
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